客製化設計產品
A.設備及晶圓監控系統
  • 天虹科技提供客製化的遠端監控系統,將半導體機台上之製程所需之關鍵參數, 例如:壓力、電壓、電流、溫度、流量、位置等傳送至監控電腦分析及統計,再將結果傳送至客戶端自動化系統,達到即時監控的目的,協助客戶隨時掌握設備健康狀態(Equipment Health Condition)。進而達成設備維修的預測及良率的提升,更能增加機台之生產率及操作效率。
B.設備備份系統
  • 天虹磁碟陣列產品,係採用RAID-1技術,專為半導體晶圓廠所設計的儲存硬碟解決方案,以最新的 SATA硬碟 / SSD固態硬碟取代已停產的舊款 SCSI / IDE 或舊款 SATA硬碟,雙硬碟作即時資料備份(SCSI RAID-1)設計,任一硬碟有壞軌時,另一硬碟將持續運作。
  • 本產品提供硬碟熱插拔更換(Hot swap)的功能,降低機台Down機時間,目前廣泛應用於 95% 以上的半導體機台,包含Foundry / Memory / TFT / Solar / Assembly / Testing 的設備。
  • 目前此設計已蘊為半導體設備的標準配備,天虹此產品更榮膺業界第一品牌,安裝數量超過 30,000 套。
C.晶圓良率改善系統
  • 天虹科技致力於先進半導體機台零件開發、設備改善、系統規劃累積超過20年,協助客戶客製並合作開發晶圓良率改善系統,包含自動氮氣充氣系統(N2 purge  system),高精密空壓系統(PCV),晶圓加熱器水平調整系統(leveling system),冗餘電源系統(Redundant Power System),晶圓 CCD 影像監控系統等,協助客戶確保及提升晶圓生產良率。