Single wafer load lock機台
應用範圍與機台架構
  • 針對實驗線、小型量產線的小面積、低成本的特殊Load Lock設計
  • 利用dry pump建立真空與腔體匹配
  • 可依客戶需求,選擇搭配PVD、ALD腔體、Descum或Plasma Polish,高度客製化
  • 未來量產時,搭配之腔體仍可與transfer chamber整合
  • 搭配SECS / GEM高度自動化
  • 單片手動load / unload