機台維護工程服務

高性價比維修及服務(High CP overhaul and service)

天虹科技擁有經驗豐富的工程團隊數十人, 半導體業界工作經驗超過 10 年成員超過 20 位, 致力於提供客戶高性價比維修及服務

每年維修件數量數千件, 品項包含:

半導體機台使用加熱器(heater)類

真空閥件(valve)類

半導體機台用晶傳送機構(Robot/Motor)類

壓力控制器機構(throttle valve)維修類

電子控制及電路版(controller PCBs)類

靜電吸附晶圓承載盤(ESC)類

產品項目, 包含:

加熱器(heater) 類: CVD Producer Heater / PVD Standard Heater / PVD A101 Heater / PVD B101 Heater / PVD HTHU Heater / PVDTxZ heater / CVD CxZ Heater / CVD Dxz Heater / CVD Vector heater / CDV Altus heater / PVD MCA ESC / Etch ESC 等數十種加熱器維修服務

晶圓傳送機構(Robot/Motor)類:XP robot / VHP robot / HP robot / spindle assembly / LTM assembly 等數十種晶圓傳送機構維修服務

真空閥件(valve)類: Slit valve / Gate valve / Isolation valve / Wafer lifter assembly / CKD valve… 等上百種真空閥件維修服務

壓力控制器機構(throttle valve)維修類: CVD / ETCH / PVD / RTP 製程反應室(Chamber) 所使用之數十種壓力控制器機構維修服務

電子控制及電路版(controller PCBs)類: Magnet driver / Maglev driver / Lamp driver / Robot driver / Equipment PCBs 等數十種電子控制及電路版維修服務

磁性密封裝置(Magnetic Seal)類: Diffusion/Implanter/CVD 製程所使用之等數十種精密磁性密封裝置維修服務

專業半導體機台的拆除/除汙(Dismantling /Decontamination) 及移裝機(Relocation/installation )工程

天虹科技自 2008 年起承接多項相關工程, 專業團隊成員以前原廠設備工程師組成, 經驗豐富,服務品質值得信賴.

服務項目, 包含:

拆除 / 除汙(Dismantling and Decontamination) 機型包含: AMAT / TEL / Lam / Novellus / KLA / Kaijo / Hitachi / ASM / Varian / Aviza ...等半導體製程設備

移裝機(Relocation/installation機型包含: AMAT CVD / PVD / RTP / ETCH 等半導體製程設備

駐廠機台保養服務: 機型包含: AMAT CVD / PVD / RTP / ETCH 等半導體製程設備

Customized Remote monitoring system客製化遠端監控

天虹科技提供客製化的遠端監控系統, 將半導體機台上之製程所需之關鍵參數 ,例如:壓力,電壓,電流,溫度,流量,位置等傳送至監控電腦分析及統計,再將結果傳送至客戶端自動化系統,達到即時監控的目的,協助客戶隨時掌握設備健康狀態 (Equipment Health Condition)

進而達成預測性設備維修機制 (Predictive Maintenance),減少人員及物力的支出及降低產品報廢風險及良率提升,更能增加機台之生產率及操作效率。