Skytech Intelligent Wafer Robot

Skiwar (自動取放片機)

整合主系統,可支援 4”/6” cassette 及現場改裝

Bernoulli robot 不接觸晶圓正面

高效乙太網通信

支援SECS/GEM.更好的自動化支援,減少操作負載及MO

更好的particle性能